記者近日從中國(guó)科學(xué)院微電子研究所獲悉，該所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心在２２納米技術(shù)代集成電路關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)上取得突破性進(jìn)展，掌握這種工藝將有利于提升中國(guó)自主生產(chǎn)制造更加質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的集成電路產(chǎn)品的能力。

　　人們使用的電腦、手機(jī)等速度更快、耗電更省、成本更低，這都有賴于集成電路制造工藝的不斷進(jìn)步。

　　據(jù)介紹，２２納米約相當(dāng)于普通成年人頭發(fā)絲直徑的２３００分之一，采用?。玻布{米集成電路技術(shù)可以在一根頭發(fā)絲的橫截面上集成大約１０００萬個(gè)晶體管，從而使集成電路產(chǎn)品的功能更多樣化，速度更快，成本更低。研究人員摒棄了傳統(tǒng)的二氧化硅、多晶硅等材料，采用了高Ｋ材料、金屬柵材料等新材料新工藝，研制出了性能良好的器件，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、世界一流。

　?。玻布{米技術(shù)代集成電路技術(shù)是全球正在研發(fā)的最新一代集成電路制造工藝。多年來，中國(guó)的集成電路制造工藝大多是在引進(jìn)國(guó)外知識(shí)產(chǎn)權(quán)基礎(chǔ)上進(jìn)行產(chǎn)品工藝開發(fā)，在全球產(chǎn)業(yè)鏈最先進(jìn)工藝的開發(fā)上缺少布局和話語(yǔ)權(quán)。

　?。玻埃埃鼓辏袊?guó)在國(guó)家科技重大專項(xiàng)的支持下開始２２納米技術(shù)代集成電路關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)工作，經(jīng)過３年多努力取得突破性進(jìn)展。

　　研發(fā)人員介紹，如果中國(guó)掌握了擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的２２納米及以下集成電路技術(shù)，可以節(jié)省引進(jìn)國(guó)外技術(shù)所需的巨大資金，從而自主生產(chǎn)制造質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的電子產(chǎn)品尤其是集成電路產(chǎn)品。

　　研發(fā)過程中，中國(guó)科學(xué)院與北京大學(xué)、清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)的聯(lián)合項(xiàng)目組完成了１３６９項(xiàng)專利申請(qǐng)，其中包括４２４項(xiàng)國(guó)際專利申請(qǐng)。